| 序号 | 股票代码 | 股票简称 | 持股数量(股) | 持股市值(元) | 占基金净值比(%) |
| 1 | 002222 | 福晶科技 | 380,730.00 | 12,335,652.00 | 8.12 |
| 2 | 002371 | 北方华创 | 31,212.00 | 12,203,892.00 | 8.04 |
| 3 | 688012 | 中微公司 | 62,623.00 | 11,845,766.68 | 7.80 |
| 4 | 688037 | 芯源微 | 130,354.00 | 10,901,505.02 | 7.18 |
| 5 | 688502 | 茂莱光学 | 50,671.00 | 10,205,139.40 | 6.72 |
| 6 | 688361 | 中科飞测 | 100,190.00 | 8,771,634.50 | 5.78 |
| 7 | 688981 | 中芯国际 | 89,351.00 | 8,454,391.62 | 5.57 |
| 8 | 688072 | 拓荆科技 | 51,361.00 | 7,892,644.87 | 5.20 |
| 9 | 688195 | 腾景科技 | 192,568.00 | 7,737,382.24 | 5.09 |
| 10 | 688652 | 京仪装备 | 156,620.00 | 7,690,042.00 | 5.06 |
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