| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 招商中证半导体产业ETF发起式联接 | 355,191,100 | 48.78 |
| 2 | 招商证券股份有限公司 | 15,858,190 | 2.18 |
| 3 | 方正证券股份有限公司 | 4,322,210 | 0.59 |
| 4 | 方正证券股份有限公司 | 4,322,210 | 0.59 |
| 5 | 赵宇飞 | 4,300,000 | 0.59 |
| 6 | 赵宇飞 | 4,300,000 | 0.59 |
| 7 | 卢子梅 | 3,939,900 | 0.54 |
| 8 | 林腾 | 3,404,300 | 0.47 |
| 9 | 陈妹 | 3,000,000 | 0.41 |
| 10 | 中国国际金融股份有限公司 | 2,885,090 | 0.40 |
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