| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 广发中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 83,280,600 | 39.38 |
| 2 | 中信证券股份有限公司 | 5,548,290 | 2.62 |
| 3 | 张黎俐 | 4,280,000 | 2.02 |
| 4 | 熊翌旭 | 2,822,900 | 1.33 |
| 5 | 潘正平 | 2,700,000 | 1.28 |
| 6 | 庄美玉 | 2,000,000 | 0.95 |
| 7 | 广发证券股份有限公司 | 1,964,000 | 0.93 |
| 8 | 方正证券股份有限公司 | 1,701,200 | 0.80 |
| 9 | 陈红霞 | 1,501,000 | 0.71 |
| 10 | 张庭天 | 1,400,000 | 0.66 |
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