| 序号 | 机构名称 | 持有份额(份) | 占基金份额比例(%) |
| 1 | 中国建设银行股份有限公司-万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金发起式联接基金 | 53,950,000 | 36.32 |
| 2 | 何志明 | 9,108,100 | 6.13 |
| 3 | 万家共赢资产管理有限公司 | 2,535,000 | 1.71 |
| 4 | 华泰证券股份有限公司 | 2,226,942 | 1.50 |
| 5 | 张庆祥 | 1,582,905 | 1.07 |
| 6 | 葛传英 | 1,267,200 | 0.85 |
| 7 | 浙商期货-刘建国-浙商财富聚合私行定制17号FOF单一资产管理计划 | 1,013,000 | 0.68 |
| 8 | 国泰海通证券股份有限公司 | 869,636 | 0.59 |
| 9 | 冯亚春 | 817,600 | 0.55 |
| 10 | 黄家鸿 | 808,901 | 0.54 |
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